SiC高品質薄板化エピウエハーの製品化に成功：エピ欠陥を1/20にする表面処理技術で実現（2/2 ページ）

新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は2016年4月14日、東洋炭素がNEDOプロジェクトで開発した技術を応用してSiC高品質薄板化エピウエハーを製品化し、サンプル出荷を開始したと発表した。

[竹本達哉，EE Times Japan]

強度、10倍以上に

　そしてこのSi蒸気圧エッチング技術を応用し、SiCウエハーの薄板化の実施したところ、「加工歪／潜傷が原因で割れることもなく、容易に薄板化ウエハーの加工が可能になった」（NEDO）という。新技術適用薄板化ウエハーと従来の機械研磨薄板化ウエハーの強度の比較したところ、新技術適用薄板化ウエハーの強度が、従来技術適用ウエハーよりも1桁高いことも確認したとする。

ウエハーチップ曲げ強さのワイブルプロット 出典：NEDO

コストダウンも期待

　こうした技術の確立を受けて、東洋炭素は、量産製造装置の導入を行い、特定顧客に対し、特定顧客へ高品質薄板化SiCエピウエハー製品のサンプル供給を開始した。

　NEDOでは、「（開発技術を適用した薄板化SiCウエハーの）品質が、デバイス処理工程に耐えうる強度であることが明らかになり、今後のデバイス工程短縮、ならびに、コストダウンに一躍を担う技術として期待される」とコメントしている。