日立ハイテクは、独ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology(以下、ZEISS SMT)と共同で取り組んでいる半導体製造工程向けマルチビーム電子線検査装置の開発体制を強化する。従来の光学式では検出が難しい微小な欠陥を、シングルビーム電子線検査装置の数十倍の速度で検査できる装置の開発を加速する。
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