連載 2018年11月6日 最先端のドライエッチング技術−マルチ・パターニングとHARC−（関連情報）：湯之上隆のナノフォーカス（5） ドライエッチング技術のイノベーション史（5） [湯之上隆（微細加工研究所）, 有門経敏（Tech Trend Analysis），EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
