連載 2018年11月16日 絶縁膜の埋め込みと平坦化が、複雑な形状の加工を支える（関連情報）：福田昭のストレージ通信（124） 3D NANDのスケーリング（12） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
