連載 2018年12月21日 メモリホールにおけるエッチングと成膜の難度を軽減する2つの手法（関連情報）：福田昭のストレージ通信（128） 3D NANDのスケーリング（14） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
