連載 2021年9月16日 多層配線のビア抵抗を大幅に低減する「スーパービア」（関連情報）：福田昭のデバイス通信（322） imecが語る3nm以降のCMOS技術（25） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
