連載 2021年9月27日 2層上下の配線層をダイレクトに接続する「スーパービア」の課題(後編)(関連情報):福田昭のデバイス通信(324) imecが語る3nm以降のCMOS技術(27) [福田昭,EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る