連載 2021年10月5日 「システム・製造協調最適化（STCO）」の実現技術（前編）（関連情報）：福田昭のデバイス通信（326） imecが語る3nm以降のCMOS技術（29） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
