ウエハー内部のPN接合を非破壊/非接触で評価 TDK、QEIのRF電源事業を買収 半導体製造装置向け事業を強化 高速/高出力の300GHz帯信号生成システムを実現 6G開発に弾み 導波路の接続状態をAIで自動判定