450mmウエハー対応のアライナ/搬送ロボ：セミコン・ジャパン 2013

セミコン・ジャパン 2013では、450mmウエハーに対応したアライナと搬送ロボットがいくつか展示された。ただし、開発を手掛けるメーカーによれば、「450mmウエハーに対応する製品は、各社とも手探り状態が続いている」という。

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　「SEMICON Japan 2013」（2013年12月4〜6日）では、450mmウエハーに対応するアライナーと搬送ロボットのデモがいくつか披露された。

　ジェイイーエル（JEL）は、4軸水平多関節型クリーンロボット（ウエハー搬送ロボット）の新機種「GCR4280」とアライナ「SAL30J1HV」を展示した。どちらも450mmウエハーに対応しているのが特徴だ。アライナは、450mmウエハーの外周とT7コード/ノッチを基準にして高速かつ高精度に位置決めを行う。独自のイメージセンサーを搭載していて、それによってコード/ノッチを読み取る。アライナは450mmと300mmの兼用タイプも製作が可能だ。

ジェイイーエルの搬送ロボット（画像中央）と、アライナ（画像右側）。デモではT7コードを読み取り、位置決めを行っていた（クリックで拡大）

　ダイヘンは、開発中の450mmウエハー対応アライナ/搬送ロボットを参考展示した。アルミニウムの450mmダミーウエハーを用いてデモを行った。今後の課題として同社は、「ウエハーをアライナに搬送、設置したときの振動やスループット（処理速度）、装置の小型化の他、装置の価格をいかに下げられるかが最も大きな課題」だと述べる。

ダイヘンの搬送ロボット（画像奥）と、アライナ（画像手前、クリックで拡大）

450mmウエハーは「まだ手探り状態」

　ダイヘンは、「最近になってようやく450mmウエハーに対応するアライナと搬送ロボットへのニーズが出てくるようになったが、やはり450mmウエハーについては業界全体が手探り状態という印象を受ける。装置メーカーは各社ともお互いに様子をみている」と述べている。

　装置メーカーや材料メーカーにテストウエハーを提供するアドバンテックは、数年前から450mmのテストウエハーを提供している。「450mmウエハーは、やはり膨大な投資が必要になる点がネックになっている。メーカーは、投資に見合うだけのメリットを得られないと判断している」としながらも、「450mmウエハー自体の価格は2年前に比べると大幅に下がった。また、数年前は多結晶の450mmウエハーしか提供できなかったものが、単結晶のウエハーが提供できるようになったり、これまでは直径と厚さくらいしか仕様として記載できなかったものが、平坦度やパーティクルデータも記載できるようになったりと、ずいぶん進歩した」と付け加えた。

　アドバンテックで提供している450mmのテストウエハーの厚さは925±25μm、パーティクルは0.045μm≦250個（直径45nm以上のゴミが、ウエハー全体で250個以下）である。

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