連載 2020年10月14日 Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置（関連情報）：湯之上隆のナノフォーカス（31） [湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
