連載 2020年12月11日 多層配線のアスペクト比（AR）を高める2つの要素技術（関連情報）：福田昭のデバイス通信（289） Intelが語るオンチップの多層配線技術（10） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
