ルネサス那珂工場で生産再開、5月には火災前比で100％に：火災原因の特定にはまだ至らず（2/2 ページ）

ルネサス エレクトロニクス（以下、ルネサス）は2021年4月19日、オンラインで記者説明会を開催。3月19日に発生した火災によって生産を停止していた那珂工場300mmウエハーライン（N3棟）で、4月17日に生産を開始したことを明らかにした。

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

Cuめっき装置の火災原因特定には「まだ時間が必要」

　Cuめっき装置は、7台所有していたが、今回の火災で焼損したのは3台。火災の根本原因の特定については「まだ時間を要する」（柴田氏）として詳細な言及を避けたが、残っている4台については「焼損した3台とは異なる電源配線構造を採用しているので、同様の原因による発火はないと考えている」と説明した。

　残っているCuめっき装置の発火対策として、CO₂消火器と自動ダンパーを設置した。CO₂放出は手動だ。5月には検知器（めっき装置1台当たり、煙検知器を2個、熱センサーを6個）を設置する。6月には、煙／熱センサーと連動してCO₂消火剤を自動放出する対策を計画している。

Cuめっき装置の火災対策 出典：ルネサス（クリックで拡大）

　ウエハーを自動搬送するオーバーヘッドトランスポーターについても、焼損が激しかった火元の部分のレールは切断して撤去しなくてはならなかったため、その部分については手動でウエハーを搬送しているという。「生産を再開したとはいえ、クリーンルーム内では通常のオペレーションに戻すために、まだ多くの作業が残っている。本日（4月19日）午前中も装置を納入したばかりだ」（柴田氏）

右の写真は、火元付近のオーバーヘッドトランスポーター。レールが切断されているのが分かる 出典：ルネサス（クリックで拡大）

　今回の生産再開スケジュールのアップデートに伴う財務的な影響については「（前回会見で発表した財務計画と）それほど大きく変わらないと考えている」（柴田氏）とし、次回開催される決算報告会で詳細を公表するとした。

売り上げ影響見通し（2021年3月30日に行われた説明会の資料から抜粋） 出典：ルネサス（クリックで拡大）