連載 2021年6月4日 CMOSロジックの高密度化を後押しする次世代の電源配線技術（関連情報）：福田昭のデバイス通信（299） imecが語る3nm以降のCMOS技術（2） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
