連載 2021年7月21日 次々世代のトランジスタ「モノリシックCFET」の製造プロセス(関連情報):福田昭のデバイス通信(311) imecが語る3nm以降のCMOS技術(14) [福田昭,EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る