連載 2021年7月27日 次々世代のトランジスタ「シーケンシャルCFET」の製造プロセス（関連情報）：福田昭のデバイス通信（312） imecが語る3nm以降のCMOS技術（15） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
