連載 2021年9月9日 高アスペクト比、バリアレス、エアギャップが2nm以降の配線要素技術（関連情報）：福田昭のデバイス通信（320） imecが語る3nm以降のCMOS技術（23） [福田昭，EE Times Japan] 記事を見る 記事を見る
