アドバンテストが最新製品を一挙に紹介：SEMICON Japan 2021 Hybrid（1/2 ページ）

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　アドバンテストは「SEMICON Japan 2021 Hybrid」（2021年12月15〜17日、東京ビッグサイト）で、メモリテストソリューション、SoC（System on Chip）テストシステム「V93000」向けのデジタルカードや、CMOSイメージセンサー（CIS）向けテストソリューションなど最新の製品を展示した。

マルチプローバーに対応

　メモリテストシステムでは、2021年11月に発表した「T5835」と「T5221」を紹介した。

　アドバンテストは、ウエハーレベルからパッケージレベルまで全てのメモリテスト工程をカバーするメモリテストソリューションを提供している。T5835は、その中でも広いカバー領域を持つテストシステムで、NANDフラッシュからDDR-DRAM、LPDDR-DRAMまで、パッケージ試験だけでなくウエハー試験まで対応できる。既存システムの「T5833」の機能を向上したバージョンで、試験速度は最大5.4Gbpsと、T5833の2倍以上を実現している。アドバンテストの営業本部 Memory Marketing & Business Development統括部 第1Memory Marketing部 部長を務める横山仁氏は「フラッシュメモリやDRAMのインタフェースは高速化の一途をたどっている。通常われわれは、7〜10年先を意識してテストシステムを開発していて、T5833も、こうした高速化に合わせ、長くロードマップをカバーできるテストシステムと位置付けている」と語る。

アドバンテストは、全てのメモリテスト工程をカバーするテストソリューションを提供している［クリックで拡大］ 出所：アドバンテスト

　T5221は、NANDフラッシュをはじめとする不揮発性メモリのウエハーを対象としたテスターで、マルチプローバー内部に組み込むテストステーションと、テストステーションを制御するシステムコントローラーで構成される。最大12台のテストステーションを同時に測定することが可能だ。ウエハー試験では、テストステーション1台当たり最大1152個のデバイスを同時にテストできるので、スループットが向上する。

「T5221」のテストステーション（左）とシステムコントローラー（右） 出所：アドバンテスト

　NANDフラッシュの容量や3D NANDフラッシュの層数が増加する中、メモリメーカーにとってのテストの課題は、「ウエハーレベルのテスト時間をいかに短縮するか」だと横山氏は説明する。「容量が1Tビット、2Tビットと増加した際、従来の方法を続けるとテスト時間は倍々になっていく。テスト時間短縮の一つの方法として、マルチプローバータイプのテストソリューションが求められている」（同氏）

　なお、MRAM（磁気抵抗メモリ）などの新興不揮発メモリについて横山氏は「思うように市場は伸びていないようだ」との見解を述べつつ、「ただ、インタフェースについてはDDR3やDDR4などDRAMと互換性があるので、パッケージのファイナル試験については、テスターへの要求はそこまで変わらない」と語った。