シャープ亀山工場に後工程自働化の検証ライン構築、SATAS：2027年度中にも稼働予定

半導体後工程自働化・標準化技術研究組合（SATAS）は、後工程自働化の研究開発を行うパイロットラインサイトとして「シャープ亀山工場」（三重県亀山市）を正式に選択し、工場内の環境整備を始めた。パイロットラインは2027年度中に稼働予定。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

業界標準インタフェースの仕様作成と対応する製造装置の開発を加速

　半導体後工程自働化・標準化技術研究組合（SATAS）は2025年6月、後工程自働化の研究開発を行うパイロットラインサイトとして「シャープ亀山工場」（三重県亀山市）を正式に選択し、工場内の環境整備を始めた。パイロットラインは2027年度中に稼働予定。

　SATASは、半導体メーカーや半導体製造装置／自動搬送装置メーカーおよび、標準化団体など半導体業界を代表する企業や団体が組合員となり、2024年5月7日付けで設立された。後工程の完全自働化に必要となる技術の開発や、オープンな業界標準仕様の作成、装置の開発と実装、統合されたパイロットラインにおける装置の動作検証などを行うことにしている。

　SATASは現在、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）より受託した「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発／半導体後工程自働化・標準化の開発・実証に関する研究開発」に取り組んでいる。この一環として、パイロットラインの構築に必要な環境が整っているシャープ亀山工場の建屋や施設、設備などを活用し、後工程完全自動化ラインを構築することにした。

　具体的には、後工程の完全自動化に必要となる各製造装置間における物理的・理論的な業界標準インタフェース仕様を作成する。この仕様に基づく製造装置の開発と実装および、単体試験を行う。さらに、各製造装置を統合したパイロットラインで結合試験や動作試験を実施し、パイロットライン全体としてエネルギー生産性改善に役立つ研究開発を行う計画である。

シャープ亀山工場の外観［クリックで拡大］ 出所：SATAS