ついにできた！Rapidus試作ライン稼働、2nm GAAトランジスタの動作を確認：顧客獲得にも弾み（1/2 ページ）

Rapidusは、最先端半導体の開発／生産を行う「IIM-1」（北海道千歳市）で、2nm GAA（Gate All Around）トランジスタの試作を開始し、動作を確認したと発表した。Rapidus 社長兼CEOの小池淳義氏は「2nm GAAトランジスタがこのスピードで本当にできたということに、顧客は非常に驚き、ものすごい期待を持つだろう」と語った。

[浅井涼，EE Times Japan]

　Rapidusは2025年7月18日、最先端半導体の開発／生産を行う「IIM-1」（北海道千歳市）で、2nmノードのGAA（Gate All Around）トランジスタの試作を開始し、動作を確認したと発表した。

　これに合わせて同日、同社は千歳市で記者会見を開き、試作品チップの実物を公開した。Rapidus 社長兼CEOの小池淳義氏は「2nm GAAトランジスタがこのスピードで本当にできたということに、顧客は非常に驚き、ものすごい期待を持つだろうと確信している」と語った。

2nm GAAトランジスタの試作チップ現物［クリックで拡大］ 出所：Rapidus

試作チップの除幕式の様子。左からRapidus 会長の東哲郎氏、同社 社長兼CEOの小池淳義氏、北海道知事の鈴木直道氏、千歳市長の横田隆一氏［クリックで拡大］

設立から3年　「魂のロット」で動作確認

　会見では、小池氏がスライドショー形式で写真や動画を見せながらRapidusの歩みを紹介した。Rapidusの設立は2022年8月で、当時の従業員数は14人だった。同年12月にはIBMと戦略的パートナーシップを締結した。IBMが研究してきたGAA技術がIIM-1での開発に生かされている。

　2023年2月には千歳市に工場を建設すると発表し、同年9月にIIM-1の起工式を行った。小池氏は「何もないところから建設業者やRapidusの従業員が一致団結して建設を進めた」と振り返る。

「IIM-1」の外観［クリックで拡大］ 出所：Rapidus

　2024年12月にはクリーンルームを整備し、製造装置を搬入した。「量産向けに極端紫外線（EUV）露光装置を入れるのは日本で初めてだった」（小池氏）

Rapidusの歩みを紹介する小池氏［クリックで拡大］

　2025年4月にはEUV露光装置を用いた露光／現像に成功し、6月16日には試作ラインにウエハーを投入したという。小池氏は最初のロットを「魂のロット」と称し、「Rapidusの従業員がほとんど寝ずに作業した」と強調。7月10日にGAAトランジスタの動作を確認したという。

　小池氏は試作チップについて「日本で初めて、2nm GAAトランジスタの動作を確認した。これは画期的なことだ」と強調。歩留まりについては明言しなかったが「2027年の量産に向けてさらに特性や歩留まりを高めていく」と述べた。