前工程装置でシェア低下が続く日本勢、気を吐くキヤノンは希望となるか：湯之上隆のナノフォーカス（83）（3/4 ページ）

前工程用の半導体製造装置において日本メーカーのシェア低下が止まらない中、健闘しているのがキヤノンである。同社のナノインプリントリソグラフィ（NIL）技術は、光露光プロセスにパラダイムシフトを起こす可能性を秘めている。

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

露光装置の出荷額シェアと出荷台数シェア

　前工程装置の中で244億米ドルと最大規模となった露光装置市場の企業別シェアを図5に示す。1995年時点では、ニコンが48.9％、キヤノンが28.7％、ASMLが15.9％であり、日本勢が合計77.6％を占めていた。

図5：露光装置の出荷額と企業別シェア（〜2024年）［クリックで拡大］ 出所：モルガンスタンレー証券のデータ、筆者の調査を基に作成

　しかし、その後ニコンとキヤノンのシェアは急速に低下し、ASMLのシェアが急拡大した。ASMLのシェアは2006年に60％を突破し、2010年には80％を超え、2021年には95％に到達した。その後もおおむね95％前後の高水準を維持し、2024年時点ではASMLが94.1％、ニコンが2.5％、キヤノンが3.4％と、日本メーカーのシェアはごくわずかにとどまっている。

　ここまでは出荷金額ベースのシェアを見てきたが、次に出荷台数とその企業別シェアを見てみよう（図6）。露光装置の年間出荷台数は、2017年頃まではほぼ300台前後で推移していたが、その後増加傾向に転じ、2023年に681台、2024年も682台と、2010年代前半の2倍以上に達している。

図6：露光装置の出荷台数と企業別シェア（〜2024年）［クリックで拡大］ 出所：モルガンスタンレー証券のデータ、筆者の調査を基に作成

　そして、出荷台数シェアを見ると、ASMLは一貫して60％強でほぼ安定している。一方、2011年に23.7％だったニコンは、その後急減し、2024年には4.7％まで低下した。それとは対照的に、2011年に14.5％だったキヤノンは着実にシェアを伸ばし、2024年には32.7％に達している。

　このように、出荷台数ベースではニコンが低迷する一方、キヤノンはASMLの半分強に相当するシェアを獲得している。

　それでは、キヤノンはどの種類の露光装置で健闘しているのだろうか。

各種露光装置の企業別出荷台数

　図7に、2023年および2024年における各種露光装置の企業別出荷台数を示す。

図7：各種露光装置の企業別出荷台数（2023年、2024年）［クリックで拡大］ 出所：モルガンスタンレー証券のデータ、筆者の調査を基に作成

　まず、最先端露光装置である、1台約308億円の極端紫外線（EUV）露光装置は、ASMLのみが供給しており、2023年に53台、2024年に44台を出荷した。なお、各種露光装置の価格はASMLの出荷台数および出荷金額から算出し、その際の為替は1ユーロ＝164円とした。

• 1台約121億円のArF液浸は、2023年にASMLが125台、ニコンが9台を出荷した。2024年にはASMLが129台、ニコンが4台となった
• 1台約51億円ArFドライは、2023年にASMLが32台、ニコンが10台出荷し、2024年にはASMLが29台、ニコンが7台であった
• 1台約21億円のKrFは、2023年にASMLが184台、ニコンが2台、キヤノンが56台を出荷した。2024年にはASMLが129台に減少し、ニコンは3台と横ばい、キヤノンも51台と前年とほぼ同水準であった
• 1台約11億円のi線は、2023年にASMLが55台、ニコンが24台、キヤノンが131台出荷し、キヤノンがASMLを大きく上回った。2024年にはASMLが44台、ニコンが18台と両者が減少した一方、キヤノンは182台と前年より50台以上増加した

　以上のように、機種別に見ると、EUVおよびArF液浸・ドライではASMLが圧倒的優位を維持しているが、KrFではASMLの減少が目立ち、i線ではキヤノンが大きな存在感を示している。

それでは次に、各種露光装置における企業別出荷台数シェアを確認する。

各種露光装置の企業別出荷台数シェア

　図8に、2023年および2024年における各種露光装置の出荷台数シェアを示す。

EUVについては、ASMLのみが製造可能であるため、2023年および2024年ともにASMLのシェアは100％である。

図8：各種露光装置の企業別出荷台数の割合（2023年、2024年）各種露光装置の企業別出荷台数の割合（2023年、2024年）

　ArF液浸では、2023年にASMLが93.3％、ニコンが6.7％。2024年にはASMLが97.0％、ニコンが3.0％となり、ASMLが圧倒的優位を維持している。

　ArFドライでは、2023年にASMLが76.2％、ニコンが23.8％で、2024年にはASMLが80.6％、ニコンが19.4％となり、ArF液浸に比べればニコンが一定の存在感を示している。

KrFでは、2023年にASMLが76.0％、ニコンが0.8％、キヤノンが23.1％であったが。2024年にはASMLが70.5％に微減し、ニコンが1.6％、キヤノンが27.9％とやや増加した。

　i線では、2023年にASMLが26.2％、ニコンが11.4％、キヤノンが62.4％と、キヤノンが他社を大きく引き離している。さらに、2024年にはASMLが18.0％、ニコンが7.4％と両者が減少する一方、キヤノンは74.6％までシェアを拡大した。

　以上の結果を踏まえ、図7および図8から見えてくる各社の戦略を以下に整理する。