中国が「半導体製造装置の自給自足」に苦戦している理由（前編）：「国産化50％」の実像と課題（1/2 ページ）
中国が国内半導体メーカーに対し、新工場を建設時に前工程製造装置（WFE）全体の少なくとも50％を国内メーカーから調達することを実質的に義務付けていると報じられた。だが、この措置で中国は本当に国内WFE産業を加速できるのか。
「前工程装置の国産化50％」要件の実像
Reuterが2025年末に報じたところによると、中国は国内半導体メーカーに対し、新工場を建設時に、前工程製造装置（WFE）全体の少なくとも50％を国内メーカーから調達することを実質的に義務付けているという。中国が製造装置の自給自足には程遠い状況にあることを踏まえると、こうした義務付けは意外なものだといえる。しかし、SMICが調達した一部の海外製装置が、制裁措置の影響によって使われずに放置されている状態にあることから、この要件にはメリットもあるかもしれない。ここで主な問題となるのは、「中国は同措置によって、本当に国内WFE産業を加速できるのか」「中国WFE産業は、本当に日米欧の競合に付いていけるのだろうか」、という点だ。
新しい前工程工場の装置全体の少なくとも50％を中国製にするという要件は、まだ公的規制として正式に策定されてはいない。しかし、あるアナリストは米国EE Timesの取材の中で「中国当局は、新しい工場で使用する装置について、価格ベースで少なくとも50%を、国内製のものにするよう求めている」と述べた。
ここ数カ月の間に工場を建設／拡張するために国家承認を申請する企業は、半導体製造装置（SPE）全体の少なくとも半分が国内メーカーから調達したものだと証明する必要がある。Reutersが、認証プロセスについて詳しい関係筋から得た情報によると、この基準に満たない申請は全般的に却下されるという。さらに報道によれば、政府当局は、長期的には中国製の製造装置のみを使用する計画を立てているため、この50％という数字は最終的な目標ではなく、ベースラインと見なすべきだとの見解を示したという。
成熟ノードは厳格、先端は例外？
ただし重要な注意点として、新工場のWFE全体の少なくとも50％を国内調達するという義務付けは、正式な規則ではないため、国内製装置が入手できない場合は、申請を審査する規制当局がケースバイケースで調整するということがある。報道によると、この要請は、成熟プロセス技術をターゲットとする生産ラインに対して最も厳格に適用されるが、その一方で、最先端ノード向けの生産能力については免除されるという。というのも、国内製装置では、28nm以降のような最先端の製造ノードの要件をいまだ満たすことができないためだ。
TechInsightsのバイスチェアマン兼シニアフェローであるG. Dan Hutcheson氏はEE Timesの取材に対し「国内製装置を50％にするという要件への準拠は、その基準の定め方によって左右される。というのも、複数のバリエーションとして、人民元や台数、チャンバー数の他、同等クラスの装置などの基準が存在するためだ。私の知る限りでは、中国はこの基準について、非常に柔軟かつ流動的に判断している。工場のチャンバー数に関して50%の目標を達成するのは、非常に容易だろう。しかし、特定の種類の装置ごとに細分化するとなると、難しさは増す。また人民元ベースとなれば、中国製装置は、欧米の競合メーカーよりもコストや利幅がはるかに低く、販売価格も大幅に安価なため、さらに難しくなるだろう」と述べている。
中国の当局および半導体メーカーは、「国産装置50％要件」が存在し、当局がそれを厳格に実施しているということに関しては、まだ正式に認めていない。中国は、半導体の自給自足計画については一貫性のある対応を取っているため、国内の半導体製造装置分野を刺激するために特定の規則を課しながらも、最先端ロジックメーカーには何らかの例外を適用する可能性がある。中国のWFE業界は、世界クラスの蒸着／エッチング装置を製造することはできるが、ASMLのリソグラフィ装置の高度さには依然として太刀打ちできない。中国政府が国産装置の調達を要請するのは、国内の半導体製造装置メーカーを刺激することの他にも理由があるのかもしれない。
規制が高める保守リスク、露呈した装置運用の限界
SMICは2026年2月初めに、「当社が、特定の輸出規制が課される以前に先を見越して海外サプライヤーから入手していた装置は、『サポート設備』を調達できないために、一部使用できなかった。そのため、これらは本会計年度の期間中、遊休装置のままになる可能性がある」と述べていた。
SMICの共同CEOであるZhao Haijun氏は、2026年2月10日に行った2025年第4四半期の業績発表において「外部要因の影響により、一部の主要装置を先行して調達したが、サポート設備はまだ購入できない可能性がある。このタイミングのずれにより、これらの調達済み装置が2026年に生産ラインを構成できない可能性があるという、膠着状態に陥っている」と述べていた。
SMICは、米国政府と同盟国によって課された輸出規制について直接非難してはいない。ただ、同社が欧米の制裁措置による影響を受けたのは、もちろん今回が初めてではない。例えば、同社は2025年に、既存装置の保守や新システムの検証などが原因となって生じた、生産の混乱や歩留まりロスなどを経験している。
SMICは、2つの困難に直面した。1つ目は、定期的な年間保守の期間中に生じた事故により、ファブオペレーションが混乱し、プロセスの精度が低下したために、歩留まりロスが発生したこと。そして2つ目は、新たに設置した装置の認定作業の最中に、性能上の問題によって歩留まりの変動が生じることが発覚したという点だ。同社はいずれの問題にも即座に対応できなかったため、売上高に影響が及んだ。
年間保守は通常、ルーティン業務だが、米国の輸出規制によって米国のWFEベンダーが中国国内の最先端装置向けに保守サービスを提供できなくなった。その結果、SMICのエンジニアはベンダーの全面的なサポートなしで作業に対応せざるを得ず、事故発生のリスクが大幅に増大している。新たに提供されたシステムも、特にメーカーから直接入手した装置ではない場合に、同様のリスクに直面している。
通常、装置はASMLのようなメーカーで完全に組み立てられ、テストされた後に分解され、顧客の現場で再設置される。SMICの社内チームは一定の保守や設置手順はこなせるものの、適切なベンダーサポートが欠けることで事故のリスクが高まる。
海外サプライヤーから装置を入手し、保守することに伴うリスクが増大していることを踏まえると、ファウンドリーのグローバルリスクを下げる1つの方法は、中国ベンダーの装置、少なくとも中国内に製造拠点を持つベンダーの装置を使うよう促すことである。
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.