キヤノンのNIL技術、EUVの「対抗馬」になれるのか パワー半導体向け堅調で高水準の出荷維持、ディスコ キヤノン、NIL技術を用いた半導体製造装置を発売 半導体製造装置の「中古市場」を作り出す 米新興企業