L/S 1μmを実現するマスクレス露光装置 ニコンが開発へ 手のひら大の「クリーンルーム」 ミニマルファブのリソグラフィ実演 パワー半導体向けボイドレスはんだ付け技術を開発 SEMIが半導体製造向けサイバーセキュリティ戦略を強化 「半導体産業で全国を連携」 SEMI設立の協議会が初会合 SiCを低コスト化できるか 米装置メーカーのCMP技術