東陽テクニカと慶応大、イメージングセンターを開設：計5億円相当の最新装置を配備（2/2 ページ）

東陽テクニカは2016年7月20日、慶応義塾大学理工学部中央試験所の産学連携棟内に、微小な領域を観察および分析するための施設「ナノイメージングセンター」を開設した。産学連携を図ることでイメージング技術を強化し、学術と産業の両方に貢献することを目指す。

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

計5億円相当の装置を設置

　ナノイメージングセンターには、東陽テクニカの分析担当者が3人常駐する。既にサービスを開始しているが、サンプル測定の価格などは個別相談となっている。以下に、ナノイメージングセンターに設置している装置のうち、7台を紹介する。今後は、装置の種類や台数を増やしていく方針だ。

左＝高い分解能を備えたCarl Zeiss MicroscopyのFE-SEM（電界放出形走査電子顕微鏡）「MERLIN」／右＝有機物やフィルムの分析に適したCarl Zeiss Microscopyの極低加速FE-SEM「GeminiSEM 500」（クリックで拡大）

左＝1イメージを2秒で取得する高速スキャン対応のAFM（原子間力顕微鏡）。Keysight Technologiesの「Keysight9500 AFM/SPM システム」／右＝BrukerのイメージングXRF（蛍光X線分析装置）「M4 TORNADO」（クリックで拡大）

左＝BrukerのX線マイクロCTスキャナー「SkyScan 1272」。部品や素材などの内部構造を3次元で取得できる／中央＝サブミクロンの厚さの膜厚まで、硬度およびヤング率を測定できるKeysight Technologiesの硬度計「G200」／右＝ナノメートルオーダーの薄膜や樹脂の硬度とヤング率を測定可能な薄膜機械特性評価装置。Nanomechanicsの「iNano」（クリックで拡大）

　東陽テクニカによると、一般的な企業や組織では、1台の新しい装置を導入するまでに稟議や申請、試用などで時間がかかることから、約3年を要するという。同社は「だが、変化が速いこの時代、3年間も装置導入を待っていたら後れを取ってしまう」と述べ、すぐに来て、イメージングツールをすぐに使える場所としてナノイメージングセンターを提供したいと強調した。

　東陽テクニカは、「正確に計測する技術を、学生をはじめユーザーに啓蒙していくことも、当社の役割だと考えている」と続けた。