連載
試作された反強誘電体キャパシターの長期信頼性：福田昭のストレージ通信（83） 反強誘電体が起爆するDRAM革命（4）（2/2 ページ）
二酸化ジルコニウムを、仕事関数が異なる材料の電極で挟んだ不揮発性メモリ用のセルキャパシター。この試作品の長期信頼性を確認するために、NaMLabやドレスデン工科大学などの共同研究グループが、書き換えサイクル特性とデータ保持特性を測定した。
10年間のデータ保持期間を外挿から推定
NaMLabやドレスデン工科大学などの共同研究グループは、試作した反強誘電体キャパシターのデータ保持特性も測定した。測定温度は50℃と100℃である。いずれの温度でも、48時間まで測定したところ、目立った劣化は見られなかった。
試作した反強誘電体キャパシターのデータ保持特性。上は測定温度が50℃、下は測定温度が100℃の場合。縦軸は分極電荷量の相対値。横軸は時間（分）。出典：NaMLabおよびドレスデン工科大学（クリックで拡大）
測定結果を外挿したところ、10年間のデータ保持期間が十分に達成可能だとの見通しを得ている。書き換えサイクル寿命の測定結果と併せ、研究室レベルではあるものの、不揮発性RAMとしての可能性が十分にあることを示している。
（次回に続く）
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