TEL、製造子会社の2事業所で新生産棟を建設：合計約260億円を投資

東京エレクトロンは2018年4月25日、同社製造子会社である東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨事業所と東北事業所に新生産棟を建設すると発表した。新棟建設は「拡大する半導体需要に対応するため」とし、合計で約260億円を投資する予定だ。

[松本貴志，EE Times Japan]

　東京エレクトロンは2018年4月25日、同社製造子会社である東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨事業所（山梨県韮崎市）と東北事業所（岩手県奥州市）に新生産棟を建設すると発表した。新棟建設は「拡大する半導体需要に対応するため」とし、2事業所の合計で約260億円を投資する予定だ。

成膜、ガスケミカルエッチング、テストシステムなどの生産能力拡大を目的

　山梨事業所に建設される新棟は、地上4階建て鉄骨造／免震構造で延床面積が3万2455m²。2019年1月より着工し、2020年4月の竣工を予定する。建設費用は約130億円で、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムの製造を行う。

山梨事業所新棟の完成予想図 出典：東京エレクトロン

　また、東北事業所に建設される新棟も、地上4階建て鉄骨造／免震構造で、延床面積が3万1777m²。同棟は2018年10月より着工し、第1期工事は2019年9月、第2期工事は2020年12月の竣工予定となる。建設費用は約130億円で、熱処理成膜装置の製造を用途とする。

東北事業所新棟の完成予想図 出典：東京エレクトロン

　新棟を建設する東京エレクトロン テクノロジーソリューションズは、2017年7月に東京エレクトロン山梨と東京エレクトロン東北が合併し設立。熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング／アッシング装置の開発と製造を事業としている。