SCREEN、スクラバー方式の枚葉式洗浄装置を発売：処理能力は最大で毎時1000枚

SCREENセミコンダクターソリューションズは、最大で毎時1000枚の高い処理能力と安定したプロセス処理性能を実現した、スクラバー方式の枚葉式洗浄装置「SS3300S」を開発、販売を始めた。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

最大16チャンバーを搭載できる新プラットフォーム

　SCREENセミコンダクターソリューションズは2020年12月、最大で毎時1000枚の高い処理能力と安定したプロセス処理性能を実現した、スクラバー方式の枚葉式洗浄装置「SS3300S」を開発、販売を始めた。

SS3300Sの外観

　SS3300Sは、最大16チャンバーを搭載できる新しいプラットフォームを採用した。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量を大幅に向上した。この結果、処理能力は従来装置に比べ25％も向上し、毎時1000枚の処理を可能にした。制御システムも刷新し、装置のIoT（モノのインターネット）化や装置間連係にも容易に対応できるようにした。

　同社はこれまで、「SS-3200」を市場に投入し、既に全世界で500台以上の出荷実績を持つ。新製品はSS-3200のプロセス処理性能を引き継いでおり、これまで培ったプロセス条件もそのまま活用することができるという。