SCREEN、200mmウエハー対応の洗浄装置を発売：多様な化合物ウエハー洗浄も可能

SCREENセミコンダクターソリューションズは、直径200mmまでのウエハー処理に適したスピンプロセッサ（枚葉式洗浄装置）「SP-2100」の販売を始めた。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

優れた価格性能比を実現、処理チャンバー数も柔軟に選択

SP-2100の外観

　SCREENセミコンダクターソリューションズは2020年6月、直径200mm（8インチ）までのウエハー処理に適したスピンプロセッサ（枚葉式洗浄装置）「SP-2100」の販売を始めた。

　IoT（モノのインターネット）化の進展などにより、200mm以下のウエハーを用いて製造する半導体デバイスの需要が拡大している。例えば、5G（第5世代移動通信）対応のスマートフォンや車載システム用途の半導体デバイスである。また、エアコンや電車、電気自動車といった用途に向けた電力変換効率の高いパワー半導体なども200mm以下のウエハーを用いることが多い。

　SP-2100はこうした市場に向けて開発した枚葉式洗浄装置である。シリコンウエハーに加え、さまざまな化合物ウエハーに対応することができる。ウエハーサイズは76mm（3インチ）から200mmまで対応する。

　さらに、メタルエッチング工程にも対応した他、薬液キャビネットを本体に内蔵することで、半導体工場内のスペースを効率に活用することができるという。処理チャンバーは目的や用途によって、その構成数を柔軟に選ぶことが可能である。