ウシオ電機、15億円投資で投影露光装置の生産強化へ：最先端ICパッケージ基板向け

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　ウシオ電機は2021年5月11日、分割投影露光装置（「UX-5シリーズ」）の生産能力増強に向け、設備投資を行うことを発表した。最先端ICパッケージ基板の高まる需要に対応するため、15億円を投資する予定だ。

　具体的には、同社の御殿場事業所（静岡県御殿場市）内にある分割投影露光装置の生産スペースを拡張する。これにより、既存の生産能力を約1.3倍以上に増強する計画だ。2021年度上期にレイアウト変更および生産設備の増強を開始し、1年後の2022年度上期中にも、生産能力を1.3倍に拡大した状態で生産を開始する。

御殿場事業所および、今回生産能力を増強する分割投影露光装置 出典：ウシオ電機（クリックで拡大）

　ウシオ電機は2019年5月にも、分割投影露光装置およびロール搬送投影露光装置（「UFXシリーズ」）の生産能力増強に向けた投資を発表したが、今回はそれに続くもの。IoT（モノのインターネット）の普及や技術進化を背景に、大容量、高速のデータ処理に対応したデータセンター向けサーバの需要が増している。それに伴い、高い解像性や重ね合わせ精度が求められるICパッケージ基板の需要も増加しているという。そのため、さらなる投資が必要と判断した。