EUV出荷は100台を突破、コロナ下でも増収増益のASML：強い半導体需要が後押し

オランダASMLは2021年1月21日（現地時間）、2020年第4四半期および通期の業績を発表した。2020年第4四半期の売上高は43億ユーロ（約5400億円）で純利益は14億ユーロ（約1756億円）。2020年通期の売上高は、140億ユーロ（約1兆7560億円）で純利益は36億ユーロ（約4516億円）で、2019年に比べ増収増益となった。

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　オランダASMLは2021年1月21日（現地時間）、2020年第4四半期および通期の業績を発表した。2020年第4四半期の売上高は43億ユーロ（約5400億円）で純利益は14億ユーロ（約1756億円）。2020年通期の売上高は、140億ユーロ（約1兆7560億円）で純利益は36億ユーロ（約4516億円）。2019年に比べ増収増益となった。

　ASMLのプレジデント兼CEOを務めるPeter Wennink氏は、プレスリリースで、「2020年第4四半期の売上高は43億ユーロとなり、予想を上回った。これは主に、DUV（深紫外線）露光装置の追加の出荷およびアップグレードの実施によるものだ。EUV（極端紫外線）露光装置については、同四半期に9台を出荷し、8台で収益を計上した。第4四半期の受注は42億ユーロで、そのうち11億ユーロは6台のEUVシステムによるものだ」とコメント。「ASMLにとって、2020年は売上高と収益性の両面で力強い成長を遂げた年となった」と述べた。

2020年通期の売上高における、技術別／分野別／出荷先の地域別の比率。EUVシステムの売上高は43％を占めている。出荷先は、容易に想像できる通り台湾と韓国が多い 出典：ASML（クリックで拡大）

　通期の売上高である140億ユーロのうち、45億ユーロは、31台のEUVシステムの売上高だという。ASMLによれば、開口数が高いHigh-NAのEUVシステムの研究開発および製造も、2025〜2026年の適用に向け順調に進んでいるという。

ASMLは、開口数が高い次世代のEUVプラットフォームを開発中だ 出典：ASMLジャパン（2020年8月の「第6回 SEMI Japanウェビナー」の資料より） （クリックで拡大）

　ASMLによれば、EUVシステムの出荷は100台を突破した。2020年末までに、およそ2600万枚のウエハーがEUVシステムで処理されたという。2600万枚のうち、900万枚は2020年第4四半期に処理されたという。

　ASMLは、2021年第1四半期の業績について、売上高は39億〜41億ユーロ、売り上げ総利益率は50〜51％、研究開発費は6億2000万ユーロ、販管費は1億6500万ユーロを見込んでいる。