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酸化ガリウムSBD、高い出力で実機動作を確認出力電圧390V、出力電力350W

ノベルクリスタルテクノロジーは、酸化ガリウムショットキーバリアダイオード(β-Ga2O3 SBD)を電流連続型PFC(力率改善)回路に搭載し、出力電圧390V、出力電力350Wで正常に動作することを確認した。

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電力変換効率、Si FRDに比べて1ポイント改善

 ノベルクリスタルテクノロジーは2023年4月、酸化ガリウムショットキーバリアダイオード(β-Ga2O3 SBD)を電流連続型PFC(力率改善)回路に搭載し、出力電圧390V、出力電力350Wで正常に動作することを確認したと発表した。しかも、シリコン製ファストリカバリーダイオード(Si FRD)と比べ、電力変換効率を1ポイント改善できたという。

 ノベルクリスタルテクノロジーは、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)が進める「戦略的省エネルギー技術革新プログラム/β-Ga2O3ショットキーバリアダイオードの製品化開発」プロジェクト(2020〜2022年)に参画。これまでアンペア級/1200V耐圧のβ-Ga2O3SBDを開発するなど成果を上げてきた。

 今回は、電流連続型PFC回路に、開発中のβ-Ga2O3 SBDを搭載し、電流連続動作の実証試験を行った。実験結果から、逆方向には390Vの電圧が印加されていることを確認した。逆方向から順方向に電圧が切り替わると、ダイオードの順方向に電流が流れる際の電流波形は最大8Aの台形波となっており、電流連続動作していることを確認できたという。

β-Ga▽▽2▽▽O▽▽3▽▽SBDの外観評価用電源のPFC回路図とβ-Ga▽▽2▽▽O▽▽3▽▽SBDの搭載箇所 左はβ-Ga2O3SBDの外観。右は評価用電源のPFC回路図とβ-Ga2O3SBDの搭載箇所 出所:NEDO
電源回路での動作波形。左はβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>SBD搭載品、右はSi FRD搭載品
電源回路での動作波形。左はβ-Ga2O3SBD搭載品、右はSi FRD搭載品 出所:NEDO

 また、β-Ga2O3 SBDとSi FRDの逆回復リカバリー特性から、β-Ga2O3SBDの逆回復リカバリー電流が、Si FRDに比べて大幅に抑制されていることが分かった。さらに、電力変換効率を比較したところ、β-Ga2O3SBDは93.0%となり、Si FRDの92.0%に比べ1ポイント改善されたという。


逆回復リカバリー特性。左はβ-Ga2O3SBD搭載品、右はSi FRD搭載品 出所:NEDO

 ノベルクリスタルテクノロジーは今後、開発したβ-Ga2O3 SBDについて、4インチウエハーを用いたファウンドリーラインにおける製造プロセスを確立していく。また、トレンチ構造の次世代β-Ga2O3 SBDや、反転型MOSトランジスタについても研究開発を進めていく予定である。

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