ASML、2022年の売上高は前年比20%増を見込む ディスコ、半導体設備投資増で過去最高を「大幅更新」 ファブ装置投資額、3年連続成長し最高額更新へ 製造装置用部材/電子デバイスともに絶好調、積極投資で急成長を続けるフェローテック ASMLのベルリン工場火災、EUV装置用の部品製造エリアに一部影響