ASMLのベルリン工場火災、EUV装置用の部品製造エリアに一部影響：予備調査の結果を発表

[永山準，EE Times Japan]

　ASMLは2022年1月7日（オランダ時間）、同社ベルリン工場で同2日夜に発生した火災に関する予備調査の結果を発表した。同社は、EUV（極端紫外線）露光装置用のウエハークランプの製造エリアが一部、火災の影響を受けたなどとしている。

　同社や現地消防によると、火災は2022年1月2日夜、ベルリン工場の敷地内にある3階建て生産用建屋の2階で発生。工場の生産エリア面積3万1780m²のうち、同建屋2階の約200m²が焼けたという。火は夜のうちに消し止められ、けが人はなかった。隣接する建物も一部、煙の影響を受けたが、これらの建物の一部では既に生産を再開しているという。また、敷地内の他の建物に影響はなく、完全に稼働している。

　同社は火災発生から数日間、予備調査を実施しており、今回「被害の影響評価は現在進行中」としつつも以下の見解を示した。

• ASMLの計測および検査装置出荷計画には、ベルリンで製造された部品は含まれていないため、影響はない
• DUV（深紫外線）露光装置の部品製造は再開している。DUV露光装置用部材については、若干の混乱があったが、装置の生産／収益計画に影響を与えないように修復していく予定
• EUV露光装置については、装置のモジュールであるウエハークランプの製造エリアで一部、火災の影響を受けた。現在、この生産エリアの復旧計画を完了し、顧客への影響を最小限に抑える方法を、生産計画およびフィールドサービスの両面で検討している段階だ

　同社は2022年1月19日、2021年第4四半期および通期業績と2022年通期に関する当初見通しを発表し、その際に同火災に関するさらなる最新情報を発表する予定としている。

　ASMLベルリン（旧、BerlinerGlas）はASMLが2020年に買収した企業で、ウエハーテーブルとクランプ、レチクルチャック、ミラーブロックなど、ASMLのリソグラフィシステム用のコンポーネントを製造している。