レゾナック、山形にSiC基板とエピウエハー生産の新拠点設置へ 低温で接合後に融点480℃に、田中貴金属独自のシート状接合材 原子配列を制御してCNTを合成 東北大 EUVペリクルとして期待されるCNT 課題は製造法 GaN専用300mm QST基板、信越化学がサンプル出荷