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レーザー照射で銅配線を形成、大気中で処理:複雑な回路も図面に合わせて照射するだけ(2/2 ページ)
芝浦工業大学の大石知司氏は、大気中で特定の銅錯体にレーザー光を当てるだけで、比較的簡単に微小な銅配線を形成できる技術を開発した。フレキシブルデバイスなどへの応用を進めていく。
企業との連携進め、さらに微細配線対応目指す
大石氏は、プラスチックなどの樹脂基板を用い、軽量・薄型で丸めたり折り曲げたりできるフレキシブルディスプレイの研究も並行して進めている。
今後は企業などと連携して、より微細な配線の形成やプロセスの精密化などについて検討を重ねていく予定である。
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