2020年、5nm世代でEUV時代が到来か：電子ブックレット

EE Times Japanに掲載した記事を読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASMLのEUV（極端紫外線）に関わる展望について紹介します。

[EDN Japan]

2020年、5nm世代でEUV時代が到来か

　アイティメディアがモノづくり分野の読者向けに提供する「EE Times Japan」「EDN Japan」「MONOist」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASMLのEUV（極端紫外線）に関わる展望について紹介します。

2020年、5nm世代でEUV時代が到来か

ASMLは2016年4〜6月にEUV（極端紫外線）リソグラフィ装置を4台受注し、2017年には12台を販売する計画を明かした。これを受けて業界では、EUV装置によるチップ量産が、5nmプロセス世代での製造が見込まれる2020年に「始まるかも」との期待感が広がっている。【著：Rick Merritt】

・ブックレットは無料でお読みいただけますが、電子機器設計／組み込み開発 メールマガジンの購読登録が必要です。
・電子ブックレットはPDFファイルで作成されています。
・電子ブックレット内の記事は、基本的に記事掲載時点の情報で記述されています。そのため一部時制や固有名詞などが現状にそぐわない可能性がございますので、ご了承ください。