多層プリント基板にICや受動素子などを内蔵する「ESP」技術：福田昭のデバイス通信（114） TSMCが解説する最先端パッケージング技術（13）（2/2 ページ）

本シリーズの最後として紹介するのは「ESP（Embedded Substrate Packaging）」だ。その名の通り、多層プリント基板にICや受動部品を埋め込む技術である。電源モジュールや高周波無線モジュールでの採用が多く、これらモジュールの小型化に貢献してきた。

[福田昭，EE Times Japan]

電源モジュールと高周波無線モジュールの小型化に寄与

　「ESP」、すなわち「部品内蔵基板」を利用したパッケージングは、半導体メーカーやパッケージング請負企業などが手掛けている。技術そのものはかなり古くからあり、いくつかの採用事例がある。

　「部品内蔵基板」の応用分野で特徴的なのは、小型パワーモジュール（電源モジュール）や高周波無線モジュールなどでの採用が多いことだ。プロセッサそのものの採用は少ない。プロセッサに電源電圧を供給するモジュールの小型化を目的に、使われることが多い。

　国内ではTDK、ジェイデバイス、新光電気工業などが、それぞれ独自の改良を加えた部品内蔵基板を手掛ける。なおジェイデバイスは、大型プリント基板を使ったパネルレベルの一括製造技術（FOPLP）の一環として、半導体チップをプリント基板に内蔵する技術「WFOP（Wafer Level Fan-out Packaging）」を開発していた。

　海外ではAT&S（Austria Technologie & Systemtechnik AG）、Infineon Technologies（関連記事：IC埋め込みパッケージで高効率/高放熱性を実現）、ASE（Advanced Semiconductor Engineering）などが、部品内蔵基板を手掛ける。

「ESP」（部品内蔵基板）を手掛けている主な企業とその概要。出典：TSMC（クリックで拡大）

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