SiC／GaNパワー半導体の容量測定を自動化：高電圧C-V測定システム

岩崎通信機は、SiC（炭化ケイ素）、GaN（窒化ガリウム）パワー半導体デバイスの容量測定を自動で行うことができる高電圧C-V測定システム「CS-600」シリーズを発売した。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

最大5kVまでのバイアス電圧を印加して容量を測定

　岩崎通信機は2017年6月、SiC（炭化ケイ素）、GaN（窒化ガリウム）パワー半導体デバイスの容量測定を自動で行うことができる高電圧C-V測定システム「CS-600」シリーズを発売した。

　CS-600シリーズは、DCバイアス電圧が最大5kVの「CS-605」と、最大3kVの「CS-603」の2機種を用意した。それぞれ、最大のバイアス電圧を印加した状態で、パワーデバイスの入力容量や出力容量、帰還容量などを全自動で測定することができるという。

CS-600シリーズの外観

CS-600シリーズの主な仕様 出典：岩崎通信機

　この他、さまざまなパッケージに対応するカーブトレーサー用アダプターをそのまま利用可能、プローブステーションと連動させウエハーやチップ上での容量測定が可能、高電圧用コンデンサーなどの容量測定にも対応、といった特長がある。

　価格（税別）は、CS-605が348万円、CS-603が248万円である。製品の出荷開始は2017年8月17日を予定している。なお、測定システムには別売のLCRメーターが必要となる。