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EUVが実現間近か、250Wの光源を達成：ASMLが「SEMICON West」でデモ（2/2 ページ）
ASMLが、「SEMICON West 2017」で、250WのEUV（極端紫外線）光源を用いたデモを披露した。EUVリソグラフィ用を商用化するには、250Wの光源が1つのマイルストーンとされているため、実際の量産ラインでの実用化は間近かもしれないという期待が膨らむ。
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