酸化ガリウムパワーデバイス、22年内にも量産へ：採用実績を作り、市場加速を狙う

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　京都大学発のベンチャーで、酸化ガリウム（Ga₂O₃）パワーデバイスの開発を手掛けるFLOSFIAが、2022年内にもSBD（ショットキーバリアダイオード）の量産を開始する見込みだ。

　同社は、「TECHNO-FRONTIER 2022」（2022年7月20〜22日／東京ビッグサイト）に出展し、酸化ガリウムを使用したSBD「GaO SBD」を搭載した評価ボードを展示した。GaO SBDは、最大定格が600Vで順電流（I_f）は10A。まずは数百ワットクラスの電源をターゲットとしている。FLOSFIAのパワーデバイス事業本部で営業部長を務める井川拓人氏は「この1年、GaO SBDのサンプル出荷を続け、前向きな評価をいただいてきた」と述べる。

　ブースではFLOSFIA製の評価ボードに加え、和光電研が製作した、GaO SBD搭載のDC-DCコンバーターも展示した。この意味は大きい。井川氏は「GaO SBDのような新しいデバイスは、市場での採用実績がなければ普及拡大が難しい」と説明する。そのため、どこか1社でも採用したり導入したりする企業があれば、それがきっかけとなって採用事例が増えてくる可能性があるのだ。「1年後には、GaO SBDを搭載した最終製品を展示会で披露できるようになっていたい」と井川氏は目標を語る。

左＝FLOSFIAのGaO SBD評価ボード（写真左）と、和光電研が製作した、GaO SBD搭載のDC-DCコンバーター（写真右）／右＝和光電研のDC-DCコンバーター。手前にGaO SBDが実装されているのが見える［クリックで拡大］

　FLOSFIAの酸化ガリウムパワーデバイスは、α-Ga₂O₃という材料を使用する。酸化ガリウムには、結晶の形が異なるβ-Ga₂O₃があり、構造的にはこちらの方が安定している。ただ、バンドギャップなど特性としてはα型の方が優れている^＊）ため、FLOSFIAはα-Ga₂O₃の開発にフォーカスしてきた。FLOSFIAは、安定性があり、かつ優れた特性を持つα-Ga₂O₃を製造できる、独自の成膜技術「ミストドライ法」を持つ。「現時点では、当社のミストドライ法以外で、安定的なα型酸化ガリウムを作るのは難しい」と井川氏は説明する。

＊）バンドギャップの値（eV）は、Siが1.1、SiCが3.3、Ga₂O₃が5.3。この5.3というのはα型の数値で、β型ではこれがもう少し低くなる。

　パワーデバイスの市場としてはまだ初期段階にある酸化ガリウムパワーデバイスだが、「学会などでは多くの研究成果が発表されている。ただし、それらはβ-Ga₂O₃を対象にしたものがほとんどだ」と井川氏は話す。「そういった意味で、パワーデバイスとして実用化に近いのは、α型ではないか」（同氏）