オンセミ、SiCウエハー生産能力を2年間で16倍へ：チェコの工場で製造設備を拡張

オンセミ（onsemi）は、チェコ・ロズノフ市にある工場で、拡張を進めていたSiC（炭化ケイ素）の製造ラインが完成したと発表。今後2年間でSiCウエハーの生産能力が16倍に増強されるという。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

2023年までに3億米ドルの追加投資を計画

　オンセミ（onsemi）は2022年9月、チェコ・ロズノフ市にある工場で、拡張を進めていたSiC（炭化ケイ素）の製造ラインが完成したと発表した。今後2年間でSiCウエハーの生産能力が16倍に増強されるという。

　オンセミのロズノフ工場では、シリコンポリッシュドウエハーやエピタキシーウエハー、ダイの製造に加え、2019年よりSiCポリッシュドウエハーとSiCエピタキシー（EPI）ウエハーの製造を始めた。SiCベースのパワー半導体は、EV（電気自動車）やEV充電装置といった用途向けで、今後も需要拡大が続く見通しから、2021年より新棟の増設工事を進めてきた。

　オンセミはこれまで、ロズノフ施設に1億5000万米ドル以上を投資してきた。2023年までには、3億米ドルを追加投資する計画だという。これとは別に、米ニューハンプシャー州ハドソンにある工場でも拡張投資を行い、SiC単結晶の生産能力を5倍に拡張した。一連の投資により、SiCの製造サプライチェーンを完全にコントロールできる体制を整えた。

テープカット式典の模様 出所：オンセミ

　ロズノフ工場では、SiC製造ラインの完成を記念し、チェコ産業貿易省のズビニェク・ポコルニー課長やズリン州のラディム・ホリシュ知事、ロズノフ市のイリ・パブリカ市長ら、地元政府の要人が列席してテープカット式典が行われた。なお、ロズノフ工場では2024年末までに200人を新たに採用する予定である。