東工大発のベンチャー、台湾に3次元集積向け製造ラインを構築へ：25年後半にも量産開始予定

東京工業大学発ベンチャー企業であるテック・エクステンション（TEX）と台湾梯意愛克思（TEX-T）は、バンプレスTSV配線を用いた3次元化技術「BBCube」に基づく次世代3次元集積向け製造ラインを、群創光電（INNOLUX）のクリーンルーム内に構築する。2025年後半より量産を始める予定。

[馬本隆綱，EE Times Japan]

WOW技術とCOW技術を活用し、2025年後半より量産開始

　東京工業大学発ベンチャー企業であるテック・エクステンション（TEX）と同社台湾法人の台湾梯意愛克思（TEX-T）は2024年4月29日、バンプレスTSV配線を用いた3次元化技術「BBCube」に基づく次世代3次元集積向け製造ラインを、群創光電（INNOLUX）のクリーンルーム内に構築すると発表した。2025年後半より量産を始める予定。

　TEXとTEX-Tが保有するBBCube技術は、平置きチップレットを三次元に積層し、バンプを用いずにシステムの小型化を可能にするアーキテクチャ。ウエハー上にウエハーを接合しながら接続配線して積層する「WOW（Wafer-on-Wafer）」技術と、チップレットをウエハー上に接合しながらWOW技術で接続配線する「COW（Chip-on-Wafer）」技術からなる。

　INNOLUXに対するWOW技術とCOW技術の技術移管については、フェーズ1として2024年初めにクリーンルームの構築、設備選定を行う。フェーズ2として2024〜2025年に順次設備を立ち上げ、開発・製造一貫ラインを構築する。そして、2025年後半より量産を始める計画。

　TEXとTEX-Tが主導して構築する三次元集積製造ラインでは、東京工業大学科学技術創成研究院異種機能集積研究ユニット（大場研究室）が中心となって運営する産学研究プラットフォーム「WOWアライアンス」や、台湾国立成功大学（NCKU）、その他大学および産業界と協調しながら、人材育成も含めた研究・開発も並行して行う予定となっている。

BBCube技術のイメージ［クリックで拡大］ 出所：TEXのホームページ