ここが変だよ 日本の半導体製造装置23品目輸出規制 日立ハイテク、エッチング装置の新製造棟を建設 ディスコは22年度も増収増益、3年連続で過去最高更新 ASMLの受注残は389億ユーロ――生産上回る需要続く 22年の世界半導体製造装置市場、過去最高の1076億ドル ZEISS、DUV露光装置用光学部品の新工場を建設開始