富士フイルム、熊本に半導体製造向け研磨剤生産設備を新設 昭和電工、200mmSiCエピウエハーのサンプル出荷開始 神戸大ら、FePd/Gr界面状態を第一原理計算で予測 Crハライド系物質でスピン流の整流効果を発見 昭和電工、韓国の半導体製造用ガス貯蔵能力を倍増へ 住友化学、米国に半導体用プロセスケミカル新工場建設へ