半導体業界のトレンドは「3次元化」が明確に VLSI 2019：過去最高の出席者数で大盛況（4/4 ページ）

2019年のVLSIシンポジウム（以下、VLSI）が6月9〜14日に、京都のリーガロイヤルホテルで開催された。今後の半導体業界の進む方向性を伺える内容が多かったのでレポートする。

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

Technology Evening Panel Discussion

　現在の半導体業界（特にデバイス・プロセス関係者）の集合意識が、6月11日（火）の夜に行われたTechnology Evening Panel Discussionで垣間見えた気がする。

　テーマは“What Will the Foundries of the Future Do?（将来のファウンドリーは何をするのか）”で、東京エレクトロン（TEL）のAnton DeVilliers氏がモデレーターを務め、以下の6人がパネラーとして参加した。

• Kaizad Mistry氏：Intel　VP of technology & manufacturing
• Anthony Yu氏：GLOBALFOUNDRIES　VP of Si foundry
• Chidi Chidambaram氏：Qualcomm　VP of Si tech/foundry
• Paul Jung氏：Samsung Electronics VP
• 大場隆之氏：東京工業大学 特任教授
• Kevin Zhang氏：TSMC　VP of business development

　このPanel Discussionでは、各パネラーが5〜10分程度のシュートプレゼンテーションを行った後、質問を提示し、会場の出席者がスマートフォンで回答を投票するというスタイルが取られた。

　会場をざっと見たところ、150人程度の出席者がいた。その所属は、半導体メーカー、装置メーカー、材料メーカーと多様であるが、半導体業界の一つの“空気”が読み取れたように思う。以下に各質問と回答結果を示す。

---

Q1　Do you believe that gate length of a transistor can be scaled down to 10nm or below? （Test question）（トランジスタのゲート長は、10nm以下まで微細化できると思いますか？【※テストのために設けられた質問】）

　73人が“Yes”と回答し、27人が”No“と回答した。つまり、半導体業界人の多くが、ゲート長は10nm以降も微細化されると思っている訳だ。ちなみに筆者も、”Yes”に投票した。

Q2 What kind of integration would you most likely to leverage 3D/advanced packaging technologies?　(Kaizad Mistry, Intel）（どのようなチップの統合において、3D／最先端パッケージが活用されると思いますか？【IntelのKaizad Mistry氏による質問】）

　筆者が今後の半導体技術のトレンドと捉えた3次元化について、半導体業界人の43人がロジックとメモリが積層されると回答し、何と54人が“All Above”と回答した。3次元化のトレンドは、どうやら本物であると考えられる。

Technology Evening Panel Discussionの質問と回答数 出典：VLSI symposium 2019 / Technology panel discussion（クリックで拡大）

Q3　How long do you think Moore’s Law will last?（Kaizad Mistry, Intel）（ムーアの法則は、あとどのくらい続くと思いますか？【同上】）？

　この回答は3つに分かれた。ムーアの法則が5年以内に終わると回答した人が40人、5〜10年以内が42人、10年以上続くと回答した人が31人だった。ちなみに筆者は、10年以上に投票した。

Q4　In case of 3D, which process do you want use either chip-scale or wafer platform?（Takayuki Ohba, Tokyo Tech. Univ.）（3Dにおいて、チップスケールあるいはウエハープラットフォームの、どちらのプロセスを使いたいですか？【東京工業大学 特任教授 大場隆之氏による質問】）

この質問への回答で最も多かったのが“Chip on Wafer”の48人だった。筆者は、29人が支持した”Wafer on Wafer”に一票を投じた。

Technology Evening Panel Discussionの質問と回答数 出典：VLSI symposium 2019 / Technology panel discussion（クリックで拡大）

Q5 What device architecture will be viable beyond 3nm?（Paul Jung, Samsung）（3nm以降では、どのようなデバイスアーキテクチャが用いられると思いますか？【Samsung Electronics Paul Jung氏による質問】）

　最も多かった回答は、Nanowire/Nanosheetの50人だった。ちなみに筆者は、17人が投票したComplementary FET（CFET）/scaling boosterに一票を入れた。

Q6　Among the up and coming techs, which one will drive the highest wafer volume in 5 years?（Chidi Chidambaram, Qualcomm Technologies, Inc）（新しい技術のうち、今後5年間で最もウエハー出荷量が多くなるものは何だと思いますか？【Qualcomm Technologies Chidi Chidambaram氏による質問】）

　5G（第5世代移動通信）が38人、AIが24人、IoTが15人だった。“in 5 years”という制限つきだったため、このような回答になったと思われる。“in 10 years”だったら、例えばAIなど、違った結果が最多になったのではないか。

Q7　Beyond vertical integration (3D), which more-than-Moore technologies will have the largest impact to improve computing systems?（Anthony Yu, GLOBALFOUNDRIES Inc.）（3次元化以降について、どの“more than Moore”のテクノロジーが、コンピュータシステムの性能向上に最も大きな影響を与えると思いますか？【GLOBALFOUNDRIES Anthony Yu氏による質問】）

　embedded NVM (Non Volatile Memory)が43人と最多で、次いでOptical interconnect/photonicsが17票を集めた。ちなみに筆者は、embedded NVMに投票した。

Technology Evening Panel Discussionの質問と回答数 出典：VLSI symposium 2019 / Technology panel discussion（クリックで拡大）

　以上がTechnology Evening Panel Discussionでの質問と回答である。何となく、半導体業界が進むであろう方向性が見えた気がした。モデレーターやパネリストだけでなく、出席者全員にとって、非常に良いマーケテイングになったのではないだろうか。読者諸賢の回答は、いかがであろうか？

筆者プロフィール

湯之上隆（ゆのがみ たかし）微細加工研究所 所長

1961年生まれ。静岡県出身。京都大学大学院（原子核工学専攻）を修了後、日立製作所入社。以降16年に渡り、中央研究所、半導体事業部、エルピーダメモリ（出向）、半導体先端テクノロジーズ（出向）にて半導体の微細加工技術開発に従事。2000年に京都大学より工学博士取得。現在、微細加工研究所の所長として、半導体・電機産業関係企業のコンサルタントおよびジャーナリストの仕事に従事。著書に『日本「半導体」敗戦』（光文社）、『「電機・半導体」大崩壊の教訓』（日本文芸社）、『日本型モノづくりの敗北　零戦・半導体・テレビ』（文春新書）。