加賀東芝に300mmウエハー対応製造ラインを導入へ：2023年度上期に稼働開始

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　東芝デバイス＆ストレージは2021年3月10日、加賀東芝エレクトロニクス（以下、加賀東芝）構内に300mmウエハー対応の製造ラインを導入し、パワーデバイスの生産能力を増強すると発表した。同ラインは2023年度上期に稼働を開始する予定だ。投資金額は約250億円^＊）。

＊）金額について東芝デバイス＆ストレージとして公式発表していないが、ロイター通信などが報じており、広報担当に問い合わせたところ「そのくらいの金額」とのことだった。

　今回は、加賀東芝の既存建屋における200mmウエハー対応のクリーンルーム内に、300mmウエハー対応の製造ラインを敷設して、低耐圧（300V以下）MOSFETとIGBTの生産能力を増強する。

　東芝デバイス＆ストレージの広報によると、300mmウエハー対応製造ラインの面積や量産予定規模については「公表していない」が、加賀東芝の工場の製造能力は、「2020年度末に比べ、2023年度末は1.2倍になる予定」（広報）としている。

　加賀東芝の敷地面積は23万454m²。4つのクリーンルーム棟があり、2〜8インチまでのウエハー対応製造ラインがある。現在、量産規模が最も大きいのは8インチだ。

加賀東芝エレクトロニクス航空写真 出典：東芝デバイス&ストレージ

　「パワー半導体に対する需要の高まりの他、300mmウエハーの調達事情や技術開発など、さまざまな背景を踏まえて今回の製造ライン導入を決定した」（同社広報）

　東芝デバイス＆ストレージは、300mmウエハー対応製造ライン以降の投資計画については、市場の動向を見ながら順次決定していく。