ルネサス「N3棟」、クリーンルームの除染が完了：1日最大約1600人が協力

ルネサス エレクトロニクス（以下、ルネサス）は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場（茨城県ひたちなか市）の「N3棟」（300mm生産ライン）について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。【変更あり】

[村尾麻悠子，EE Times Japan]

　ルネサス エレクトロニクス（以下、ルネサス）は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場（茨城県ひたちなか市）の「N3棟」（300mm生産ライン）について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。

　クリーンルーム内部の床、床下、壁、天井の清掃および、天井のエアフィルターの交換により、クリーンルーム全体の除染を完了したとする。

　この作業においては、ルネサスの取引先、製造装置メーカー、部材メーカー、建設会社より1日当たり最大約1600人が支援したという。

　ルネサスはN3棟の生産再開について、当初の目標通り火災発生から1カ月以内（4月18日ごろ）を目指す。

火災発生直後との比較 提供：ルネサス エレクトロニクス（クリックで拡大）

除染が完了したクリーンルーム内部 提供：ルネサス エレクトロニクス（クリックで拡大）

【更新情報：2021年4月12日16:10　ルネサス エレクトロニクスよりクリーンルーム内部の写真提供があり、追加しました。】