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ルネサス「N3棟」、クリーンルームの除染が完了1日最大約1600人が協力

ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場(茨城県ひたちなか市)の「N3棟」(300mm生産ライン)について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。【変更あり】

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 ルネサス エレクトロニクス(以下、ルネサス)は2021年4月10日、同年3月19日に火災が発生したルネサス セミコンダクタ マニュファクチャリング那珂工場(茨城県ひたちなか市)の「N3棟」(300mm生産ライン)について、4月9日午後9時ごろ、クリーンルームの運転を再開したと発表した。

 クリーンルーム内部の床、床下、壁、天井の清掃および、天井のエアフィルターの交換により、クリーンルーム全体の除染を完了したとする。

 この作業においては、ルネサスの取引先、製造装置メーカー、部材メーカー、建設会社より1日当たり最大約1600人が支援したという。

 ルネサスはN3棟の生産再開について、当初の目標通り火災発生から1カ月以内(4月18日ごろ)を目指す。


火災発生直後との比較 提供:ルネサス エレクトロニクス(クリックで拡大)
除染が完了したクリーンルーム内部 提供:ルネサス エレクトロニクス(クリックで拡大)

【更新情報:2021年4月12日16:10 ルネサス エレクトロニクスよりクリーンルーム内部の写真提供があり、追加しました。】

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