3M、半導体製造に使用するPFASの生産を停止：改善措置に1億5000万ユーロ投資

[Alan Patterson，EE Times]

　米国の材料サプライヤーである3Mは、ベルギーの工場でポリフルオロアルキル物質（PFAS）の生産を停止した。PFASは、半導体の製造プロセスで使用する物質で、人体に有害であるとされている。

世界の半導体冷却剤生産量の80％を占める拠点

　Business Koreaによると、3Mは2022年3月8日にベルギーのズウェインドレヒト近くの工場でPFASの生産を停止し、Samsung ElectonicsとSK hynix、TSMC、Intelなどの顧客企業に通知したという。

PFASの化学組成 出所：3M

　3Mの広報担当者は米国EE Timesへのメールで、「PFAS関連の生産再開を目指している。ズウェインドレヒトでは、PFAS関連以外の製品の生産を続ける」と述べている。

　Business Koreaによると、同工場は世界の半導体冷却剤生産量の80％を占めているという。3Mはズウェインドレヒト工場の規模や範囲に関する詳細については明らかにしていない。

　広報担当者は、「この状況の解決のメドは立っておらず、いくつかの側面は3Mの管理下にない。混乱が生じる可能性について、顧客と連絡を取っている」と述べている。

　3Mは、「課題を解決し、顧客への影響をできる限り迅速に最小化するための取り組みを進めている」と述べる。そのために、当局と協力して、新しい許可要件に準拠して操業を再開するための措置を実施するとともに、可能な場合は代替施設を活用することも検討しているという。

製造プロセス再稼働に向け安全対策進める

　3MのCEO（最高経営責任者）を務めるMike Roman氏は、2022年3月30日（米国時間）に発表したプレスリリースで、「ズウェインドレヒト工場ではPFAS関連以外の生産を続けながら、現地の安全対策に準拠したPFAS対応の製造プロセスの運用に向けた取り組みを進めている」とコメントしている。

　「ズウェインドレヒトに、大気排出を制御し、水中のPFASを捕捉、廃棄、処理する技術など、新しい制御システムを導入した。こうした投資と関係当局との適切な連携によって、休止中の製造プロセスを再稼働し、世界中の顧客に必要不可欠な製品を欧州で生産できるようにしたい」（Roman氏）

　サプライチェーンに関する一連の問題は世界の半導体業界に影響を与えているが、最新の問題が今回の材料不足である。半導体不足は2年以上前に発生し、自動車メーカーは生産ラインを休止し、数十億米ドルの損失を被ることを余儀なくされた。

　2021年12月には、新型コロナウイルス感染症（COVID-19）によるロックダウンが中国西安市でのメモリ生産に影響を及ぼした。中国は、COVID-19の封じ込めに向けた断固とした措置の一環として、都市や省全体を閉鎖することがあった。

　さらに、ロシアのウクライナ侵攻以降、サプライチェーンへの重圧がさらに高まっている。この地域は、希ガスやその他の重要な鉱物を供給しているためだ。

　米国のIcahn School of Medicine（アイカーン医科大学）の疫学者であるShanna Swan氏とStacey Colino氏は2021年、PFASを含む環境ホルモンと人間の生殖能力の急激な低下に関係があるという研究結果を発表した。この研究は、両氏の著書『Count Down』に掲載されている。

　3Mは2022年3月30日、ズウェインドレヒト工場とその周辺地域に対する改善措置を実施し、PFASの生産と処理に対処するために、1億5000万ユーロ（1億6440万米ドル）を投資すると発表した。

　同社は、「ズウェインドレヒト工場からのPFAS排出を大幅に削減する廃水処理システムを設計し、稼働している。施設の運営に影響を与える廃水排出問題の解決に向けて、引き続き関係当局と協力していく」と述べている。

　同社は、ズウェインドレヒト工場で以前に生産された既存のPFASに関する問題に対処することを約束している。3Mによると、サードパーティーの土壌修復の認定専門家が最近、3Mの施設内および周辺地域の改善措置に向けて情報を提供するために、土壌の記述的研究に関する重要な作業を完了したという。

　3Mは、「米国やドイツの施設を含む世界の他の施設でも、同様の作業を行い、大きな進展を遂げている」と述べている。ズウェインドレヒト工場は、3Mが保有する5つのPFAS生産拠点の1つである。

　同社の広報担当者は、「半導体用途に使用する伝熱流体を含む特殊流体の大手プロバイダーとして、これらの問題を真剣に受け止めている」と述べている。Business Koreaによると、冷却剤は半導体のエッチングに不可欠だという。

【翻訳：滝本麻貴、編集：EE Times Japan】