驚異的な成長で装置メーカートップに躍り出たASML 背景にEUVと中国の「爆買い」：湯之上隆のナノフォーカス（70）（5/5 ページ）

現在、EUV（極端紫外線）露光装置の唯一のサプライヤーであるオランダASMLの売上高が「絶好調」だ。本稿では、ASMLの過去3年間の売上高を分析し、ASMLの成長の変曲点を特定する。さらに、今後のASMLの成長を展望する。

[湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan]

ASMLの地域別の売上高

　図7に、2011年〜2023年におけるASMLの地域別の売上高推移を示す。2011年〜2018年頃までは、台湾、韓国、米国の3カ国が、売上高1〜3位を占めていた。ところが、米国が2018年以降、横ばいになるのに対して、台湾と韓国が大きく売上高を増大させた。これは、台湾のTSMCと韓国のSamsungが競ってEUVを導入したことに大きく起因していると考えられる。

図7　ASMLの地域別の売上高［クリックで拡大］ 出所：ASMLのアニュアルレポートおよび決算報告書のデータ等を基に筆者作成

　そして、中国が2020年に米国を抜き、2023年に大きく売上高を増大させ、2023年は韓国を抜き、もう少しで1位の台湾に並ぶほどの成長を見せた。2023年の売上高は、大きい順から、1位の台湾65億8200万ユーロ、2位の中国が63億6200万ユーロ、3位の韓国が52億6500万ユーロ、4位の米国が21億9400万ユーロ、5位の欧州が8億7800万ユーロ、6位の日本が4億3900万ユーロ、7位のシンガポールが2億1900万ユーロとなった。

　そして今後どうなるかを考えると、2022年から2023年に売上高が減少した台湾と韓国は、2024年以降は再び上昇に転じるだろう。また、High NAを合計6台も導入する米国も大きく上昇するに違いない。一方、ArF液浸の爆買いができなくなる中国は、2024年以降は売上高が減少すると思われる。

ASMLの今後の展望

　最後に、ASMLの2011年〜2023年までの売上高を振り返り、2024年以降を展望したい（図8）。ASMLの売上高がギアチェンジした変曲点は2つあるように見える。

図8　ASMLの売上高および営業利益［クリックで拡大］ 出所：ASMLのアニュアルレポートおよび決算報告書のデータ等を基に筆者作成

　一つは、2016年であり、この年から本格的にEUVの出荷が始まったので、それがギアチェンジをもたらしたと考えられる。

　また、2022年にも変曲点があるように見える。これは、中国によるArF液浸の爆買いによるところが大きいと思われる。

　そして、2023年から2024年にかけて第3の変曲点が出現する可能性が高い。それは、1台3.5億米ドル（約525億円）のHigh NA効果によるものであると推測される。

　High NAの1号機は米Intelに2023年12月末に導入された（図9）。前述した通り、ASMLは2023年から2024年に合計10台のHigh NAを出荷すると報道されている。もし、これが事実なら、間違いなく、2023年から2024年に第3の変曲点が出現することになるだろう。

　以上を総括すると、製造装置メーカーの売上高ランキングで、当分の間はASMLが1位の座に君臨し続けると思われる。真のASMLの時代がやってきたと言えそうである。

図9　米Intelのオレゴン工場に世界初のHigh NAが到着［クリックで拡大］ 出所：ASMLの2024年1月24日の決算報告書のスライド

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筆者プロフィール

湯之上隆（ゆのがみ たかし）微細加工研究所 所長

1961年生まれ。静岡県出身。京都大学大学院（原子核工学専攻）を修了後、日立製作所入社。以降16年に渡り、中央研究所、半導体事業部、エルピーダメモリ（出向）、半導体先端テクノロジーズ（出向）にて半導体の微細加工技術開発に従事。2000年に京都大学より工学博士取得。現在、微細加工研究所の所長として、半導体・電機産業関係企業のコンサルタントおよびジャーナリストの仕事に従事。著書に『日本「半導体」敗戦』（光文社）、『「電機・半導体」大崩壊の教訓』（日本文芸社）、『日本型モノづくりの敗北　零戦・半導体・テレビ』（文春新書）。2023年4月には『半導体有事』（文春新書）を上梓。